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多晶硅生长设备
产品: 浏览次数:712多晶硅生长设备 
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有效期至: 长期有效
最后更新: 2021-12-06 20:27
 
详细信息

■主要性能指标

◆12对加热棒

◆年产30-50吨

◆纯度9-12N

◆转化率:86%

◆电耗:50度每公斤

■技术指标

◆硅烷法多晶硅生长设备主要用于电子级多晶硅的生成,其主要是利用硅烷热分解法生产纯度较高的电子级多晶硅产品。

◆硅烷热分解法硅烷(SiH4)是将制得的硅烷气提纯后在热分解炉生产纯度较高的棒状多晶硅。

◆设备的主要组成部分有:气源部分、反应室、真空系统、尾气处理部分和安全保护部分。

◆气源部分主要是提供多晶硅生长的原材料,以及对反应室和气路部分的吹扫等功能。

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