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温控范围
30℃~200℃
温控精度
≤±1℃
工作面温度不均匀性
≤3℃
真空泵抽速
≥4200L/min
抽空时间
6~10分钟
极限真空
20Pa
工作压强
0.6MPa
控制器
可编程控制器（西门子）
加热方式
电加热/油加热
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