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招远普斯玛等离子技术有限公司

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供应戈德尔太阳能电池等离子刻蚀机

产品价格面议

产品品牌Guarder

最小起订≥1 套

供货总量10 套

发货期限自买家付款之日起 天内发货

浏览次数1037

企业旺铺https://www.qqxnywlw.cn/index.php?homepage=a11534

更新日期2021-12-21 18:17

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商品信息

基本参数

品牌:

Guarder

所在地:

山东 烟台市

起订:

≥1 套

供货总量:

10 套

有效期至:

长期有效

品牌:

戈德尔

型号:

ICP-500T
详细说明
品牌 戈德尔
型号 ICP-500T

>> 产品特点    用于太阳能电池硅片边缘刻蚀制程,采用独特的高密度等离子(ICP),刻蚀速率高,全进口配置组装。>> 技术参数 ◆ 外形尺寸(不包括报警灯)  

1350(W)×800(D)×1750(H)mm

 ◆ 仓体结构(铝,约125升)

500(W)×500(D)×500(H)mm

 ◆ 旋转平台

Φ 400mm ,转速可调节

 ◆ 等离子发生器(美国)

频率13.56MHZ,功率0-1250W连续调节,自动阻抗匹配,全电路保护,可连续长时间工作

 ◆ 控制系统

触摸电脑+PLC全自动控制,采用**、西门子等世界**品牌电器元件,性能稳定可靠,并具有手动、自动两种模式

 ◆ 真空系统(真空压力PID闭环自动控制)

前级泵/ 英国爱德华爪式干泵 GV80

二级泵/ 英国爱德华罗茨泵  EH250(70L/S)  

美国MKS真空压力控制节流阀及薄膜式传感器      

台湾气动真空角阀、充气阀、DN63不锈钢真空波纹管 

 ◆ 充气系统

美国MKS高精度电子质量流量计(四路气体配制)

美国世伟洛克气体管路及接口组件,德国双级减压阀

日本SMC及CKD高真空气阀组件

 

 
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