普通会员
产品价格面议
产品品牌未填
最小起订未填
供货总量未填
发货期限自买家付款之日起 天内发货
浏览次数968
企业旺铺https://www.qqxnywlw.cn/index.php?homepage=a20274
更新日期2021-12-06 20:26
品牌： |
未填 |
所在地： |
山东 青岛市 |
起订： |
未填 |
供货总量： |
未填 |
有效期至： |
长期有效 |
■ 产品用途
该设备是基于真空中的高频激励而产生的辉光放电获得化学活性微粒与被刻蚀材料起化学反应产生挥发性物质进行刻蚀的。该设备特别适合于目前太阳能电池片生产中的电池周边掺杂硅的刻蚀，也可用于半导体工艺中多晶硅、氮化硅的刻蚀和去胶。
■ 技术指标
◆ 适用加工硅片尺寸：125mmX125mm;156mmX156mm
◆ 反应室极限真空度：优于 2Pa
◆ 射频电源：频率：13.56MHz; 功率：小于 1000W
◆ 温度要求：5~38℃
◆ 湿度要求：80%
◆ 电源电压：三相 380V±10%，50Hz; 单相 220V±10%，50Hz
◆ 操作控制回路：DC24V ; SOL：AC100V
◆ 额定放片量: 200-500 片/批
◆ 进出料方式: 手动
◆ 控制方式: 以触摸屏为人机界面，PLC 自动控制工艺过程
◆ 刻蚀工作周期：＜23Min
还没找到您需要的晶硅电池片制造检测设备产品？立即发布您的求购意向，让晶硅电池片制造检测设备公司主动与您联系！
立即发布求购意向本网页所展示的有关【PECVD等离子体刻蚀机_晶硅电池片制造检测设备_青岛赛瑞达电子装备股份有限公司】的信息/图片/参数等由全球新能源物联网的会员【青岛赛瑞达电子装备股份有限公司】提供，由全球新能源物联网会员【青岛赛瑞达电子装备股份有限公司】自行对信息/图片/参数等的真实性、准确性和合法性负责，本平台（本网站）仅提供展示服务，请谨慎交易，因交易而产生的法律关系及法律纠纷由您自行协商解决，本平台（本网站）对此不承担任何责任。您在本网页可以浏览【PECVD等离子体刻蚀机_晶硅电池片制造检测设备_青岛赛瑞达电子装备股份有限公司】有关的信息/图片/价格等及提供【PECVD等离子体刻蚀机_晶硅电池片制造检测设备_青岛赛瑞达电子装备股份有限公司】的商家公司简介、联系方式等信息。
在您的合法权益受到侵害时，欢迎您向邮箱发送邮件，或者进入《网站意见反馈》了解投诉处理流程，我们将竭诚为您服务，感谢您对全球新能源物联网的关注与支持！
