该设备主要通过磁控溅射的方式实现ITO薄膜的溅射,子创公司在该设备的设计中充分考虑到触摸屏用ITO导电膜对本底真空、清洁度、电导率、膜层均匀性等关键指标的要求,运用了多项拥有自主知识产权的关键技术,核心部件采用国际知名品牌,提高设备的综合性能和性价比。
特点:
1.真空室体材料采用 SUS304 ,内壁进行抛光处理,外壁抛光后喷珠。
2.独立门阀—插板阀隔开,隔离性好,工艺稳定。
3.磁导向传动,稳定性好。
4.变频调速电机驱动,精确控制传动速度。
5.PLC总线控制,人机界面友好,操作极为简便
技术参数:
本底真空:6.0E-6mbar
平均生产周期:根据产品确定
基片架尺寸:根据要求定做
膜层均匀性:±3%